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MCM-C基板上的多层互连及厚膜电阻的可靠性研究

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jfm98999

【摘 要】

：

重点研究了MCM-C基板中多层互连和厚膜电阻的可靠性.试验采用温度应力和电应力的双应力加速寿命试验.试验发现,温度小于180℃时互连失效在MCM-C基板失效中占主要地位,膜电阻

【作 者】

：

郭春生 李志国 

【机 构】

：

北京工业大学电子信息与控制工程学院

【出 处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2005年08期

【关键词】

：

多芯片组件 互连 厚膜电阻 加速寿命试验 

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重点研究了MCM-C基板中多层互连和厚膜电阻的可靠性.试验采用温度应力和电应力的双应力加速寿命试验.试验发现,温度小于180℃时互连失效在MCM-C基板失效中占主要地位,膜电阻失效相对互连失效可忽略不计.在温度高于180℃时膜电阻失效将起较大作用,即膜电阻比互连温度加速系数要大.重点计算了膜电阻和互连寿命分布及加速系数.

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