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具有平面织构的超导缓冲层YSZ薄膜的离子束增强沉积研究
具有平面织构的超导缓冲层YSZ薄膜的离子束增强沉积研究
来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcsj652
【摘 要】
:
本文用低能离子束增强沉积技术室温下在Ni-Cr合金衬底上合成了YBCO超导膜缓冲层YSZ薄膜。XRD测试表明YSZ薄膜C轴对成取向;极力产测试表明薄膜平面织构强烈。
【作 者】
:
毛应俊
任琮欣
袁骏
张宏
张峰
柳襄怀
邹世昌
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,中国科学院上海冶金研究所超导实验室
【出 处】
:
低温物理学报
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
YSZ薄膜
超导缓冲层
YBCO
薄膜沉积
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本文用低能离子束增强沉积技术室温下在Ni-Cr合金衬底上合成了YBCO超导膜缓冲层YSZ薄膜。XRD测试表明YSZ薄膜C轴对成取向;极力产测试表明薄膜平面织构强烈。
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