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利用磁控溅射在ITO电极上沉积氧化锌薄膜，以氧化锌薄膜为种子层，采用热蒸发法合成ZnO-维纳米材料，利用XRD和SEM方法对氧化锌一维纳米材料的微观结构进行分析，测试其场发射性能。结果显示，氧化锌纳米材料为钉子状结构，每个氧化锌纳米钉由几微米大的钉帽和细棒组成，垂直于基底生长。场发射性能研究表明它具有较低的开启场强，高的发射电流和好的稳定性，是一种优良的冷阴极电子发射源。