【摘 要】
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超微机电系统（ＭＥＭＳ）是由微米级构件组成的机电一体化产品。自美国首创了牺牲层技术并运用光刻法、使制造微米级构件成为可能。ＭＥＭＳ技术在机电、光学、生物学、医学、军事、宇航等领域，特
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超微机电系统（ＭＥＭＳ）是由微米级构件组成的机电一体化产品。自美国首创了牺牲层技术并运用光刻法、使制造微米级构件成为可能。ＭＥＭＳ技术在机电、光学、生物学、医学、军事、宇航等领域，特别是在目前人们尚未充分认识的微环境条件中有广阔的应用前景。该文介绍了ＭＥＭＳ核心部件超微型静电电动机的原理、结构和制造工艺。目前，ＭＥＭＳ的开发已成为各发达国家追逐的热点，专家预测本世纪末或下世纪初将会以惊奇方式改变人
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