高精度硅电容压力传感器的研究

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xingke198621
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本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。
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