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以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究。研究结果表明:光固化比传统电阻炉固化减反膜折射率低。
光和传统热固化对SiO2减反膜影响的对比
【摘 要】
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以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄
【机 构】
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南阳理工学院太阳能电池研究所,安彩高科股份有限公司博士后工作站,郑州大学物理工程学院
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2013年03期
【基金项目】
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国家高技术产业计划项目资助项目(发改办高技072490);河南省基础与前沿基础研究资助项目(072300410310)
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