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分析了在可靠性试验中双极型数字集成电路大批失效的原因,即电路中双层金属布线之间的SiO2绝缘介质在高低温的作用下所产生的应力导致了二次铝互连引线断裂开路,从而造成了该电路的失效。在此基础上改进了其生产工艺,完成了其设计定型,为该产品的可靠性设计提供了工艺数据。
双极数字集成电路的高低温失效分析
【摘 要】
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分析了在可靠性试验中双极型数字集成电路大批失效的原因,即电路中双层金属布线之间的SiO2绝缘介质在高低温的作用下所产生的应力导致了二次铝互连引线断裂开路,从而造成了该
【机 构】
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陕西科技大学电气与电子工程学院
【出 处】
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陕西科技大学学报
【发表日期】
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2004年04期
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