以“截长、补短”法测量自聚焦样品的周期长度

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本文提出一种极为简单的确定自聚焦样品周期长度的方法,它免去了现有测量公式的三角函数计算,同时可做工艺过程监测手段。 This paper presents an extremely simple method of determining the length of a self-focusing sample cycle, which eliminates the need for trigonometric calculations of the existing measurement equations and can be used as a process monitoring tool.
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