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FSI International日前在上海举办的“FSI知识服务系列研讨会”上,宣布推出全新的ORION单晶圆清洗系统。FSI营销和产品管理副总裁Scott Becker表示,创新性单晶圆清洗平台ORION系统的推出,正是为满足客户在先进工艺上更苛刻的要求,表明了FSI愿意与中国集成电路制造业共同开发最先进工艺技术的承诺。