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介绍了用离子注入标样测定ＧａＡｓ中氧的ＳＩＭＳ相对灵敏度因子的方法，并将实验数据进行离子计数－浓度，溅射时间－深度转换后求得的特征值（Ｃｍａｘ、Ｒｐ、△Ｒｐ等）与理论计算值进行比较，二者符合较好，其中Ｃｍａｘ的ＳＩＭＳ测量值同ＬＳＳ理论计算值和Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ模拟计算值之间的平均偏差分别为９％和２７％。最后，对几种ＧａＡｓ基的材料和器件进行氧的定量分析，获得了有益的结果。