【摘 要】
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监控和消除隐藏的电路缺陷已成为130 nm和130 nm以下器件的关键.这使得电子束检查正在广泛应用于开发、试生产和量产的监控过程.我们将描述当前铜逻辑和晶圆代工厂电子束检查
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监控和消除隐藏的电路缺陷已成为130 nm和130 nm以下器件的关键.这使得电子束检查正在广泛应用于开发、试生产和量产的监控过程.我们将描述当前铜逻辑和晶圆代工厂电子束检查技术的执行情况,其中包括详细的案例研究,它说明了从开发到量产过程中应用电子束检查技术的好处.我们也描述了过去克服通用工具障碍的方法.然后,分别介绍了利用电子束检查技术的新进展,以及为假设的20 000WSPMφ300mm工厂模拟的最理想执行情况的最佳实例.
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