基于硅基电磁式MEMS扬声器的制作分析

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近几年我国电子产品处于飞速发展状态,手机、平板等产品已经得到较为广泛的普及,因此扬声器的需求也就越来越高。每年手机制造业对于扬声器的需求就已经高达数亿只,进而越来越多的扬声器研究团队投入到提高扬声器音质方面。本文将系统分析基于硅基电磁式MEMS微扬声器的原理,并提出相应的制作方式以供参考。
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