【摘 要】
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介绍一种微电子系统用新型超高密度、高可靠互连方法及表面活化连接(SAB)技术.同种或者不同材料之间,经过洁净和表面活化处理之后,在一定条件下,适当的压力下可以获得非常可
【机 构】
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无锡艾克柏国际微电子科技有限公司,日本东京大学
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介绍一种微电子系统用新型超高密度、高可靠互连方法及表面活化连接(SAB)技术.同种或者不同材料之间,经过洁净和表面活化处理之后,在一定条件下,适当的压力下可以获得非常可靠的连接,同传统的引线键合、焊料球倒装焊、导电胶连接等相比,SAB具有明显的优势,特别适合于开发高集成度、微小型的电子装置.并介绍相关的SAB室温连结装置以及低温SAB倒装焊机,SAB技术用于开发新型微电子系统的一些具体例子.
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