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采用等离子喷涂–物理气相沉积技术（PS-PVD）在SiC/SiC复合材料表面依次制备了Si（底层）、3Al2O3-2SiO2（中间层）、Yb2SiO5（面层）环境障涂层（EBC）。利用扫描电子显微镜（SEM）观察分析EBC涂层表面与界面的微观形貌,X射线衍射仪对喷涂过程中易非晶化的莫来石涂层进行物相分析,研究了喷涂粉末与高温等离子体的相互作用并探讨了EBC涂层的沉积机制。结果表明：通过PS-PVD技术可制备出低孔隙率、高致密界面的EBC涂层。通过观察EBC涂层表面,Si涂层表面无裂纹,而莫来石和Yb2Si