Diagnosis of gas phase near the substrate surface in diamond film deposition by high-power DC arc pl

来源 :北京科技大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cactusspine

【摘要】

：

Optical emission spectroscopy (OES) was used to study the gas phase composition near the substrate surface during dia-mond deposition by high-power DC arc plasm

【作者】

：

Zuyuan Zhou Guangchao Chen Bin

【机构】

：

MaterialsScienceandEngineeringSchool,MetallurgicalandEcologicalEngineeringSchool

【出处】

：

北京科技大学学报：英文版

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

烟气相位金刚石薄膜光谱学发射基底表面 gas phase diamond film optical emission spectroscopy su

【基金项目】

：

This study was financially supported by the National High-Tech Research and Development Program of China （No.2002AA305508）,the National Natural Science Foundation of China （No.50472095）, the Scientifi

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Optical emission spectroscopy (OES) was used to study the gas phase composition near the substrate surface during dia-mond deposition by high-power DC arc plasma jet chemical vapor deposition (CVD). C2 radical was determined as the main carbon radical in

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