【摘 要】
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本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。
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【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所 高级工程师
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本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。
This article introduces the general situation of the 2nd National Conference on Sensing Components and Sensors, the gratifying achievements made in the research and development of sensitive components and sensors in China, and introduces the development of semiconductor sensors and micromachining technologies.
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