双材料微梁阵列室温物体红外成像

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiajie318

【摘要】

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针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功

【作者】

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缪正宇张青川陈大鹏伍小平李超波郭哲颖董凤良熊志

【机构】

：

中国科学技术大学,中国科学院微电子研究所

【出处】

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物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

非制冷红外成像光学读出双材料微梁阵列

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针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体--人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.

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