【摘 要】
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采用单脉冲激光在薄膜表面进行局部加载，对薄膜在受热区域、冷热接合部及与基体连接界面产生的热应力、热应变及应力松弛进行理论分析，研究薄膜的蠕变机制和非弹性变形的热力学
【机 构】
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华南热带农业大学机电与信息工程学院副教授,江苏大学硕士生,江苏大学机械工程学院院长、教授、博士生导师
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采用单脉冲激光在薄膜表面进行局部加载，对薄膜在受热区域、冷热接合部及与基体连接界面产生的热应力、热应变及应力松弛进行理论分析，研究薄膜的蠕变机制和非弹性变形的热力学响应。分析结果表明，薄膜受高温及冷却退火作用都会产生应力松弛；冷却退火还会形成拉应力，薄膜裂纹由拉应力过大引起，薄膜的蠕变性能是薄膜断裂前的热力学行为，由应力的性质和大小决定，用激光热应力法可以实现对薄膜性能的评估。
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