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考察了TiN／Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响．采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN／Ti多层膜，用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析．用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法，对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验．结果表明，所制备的TiN／Ti多层膜层状结构清晰，与基底结合良好，调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大，而对摩擦系数的影响却不明显．结合实验结果，讨论了硬度与弹性模量的比值（H／E值）对TiN／Ti多层膜耐磨性的影响．