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介绍了利用高精度激光位移传感器为主要探测元件,结合高精度伺服机构,精密X-Y平台,伺服控制卡和信号采集卡开发的汽车传感器压力开关膜片测试系统。本系统可以精确测量膜片形变与压力的关系,精确测量膜片的表面形状,为压力开关的设计和分析提供科学的检测手段。
高精度压力膜片光学测量系统设计
【摘 要】
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介绍了利用高精度激光位移传感器为主要探测元件,结合高精度伺服机构,精密X-Y平台,伺服控制卡和信号采集卡开发的汽车传感器压力开关膜片测试系统。本系统可以精确测量膜片形
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州310027,杭州310027
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2005年12期
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