【摘 要】
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LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术.铝膜作为LCoS的反射电极,要求有较高的反射率和电导率.采用电子束蒸发的方法,以高纯度的Al为靶材,硅片
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LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术.铝膜作为LCoS的反射电极,要求有较高的反射率和电导率.采用电子束蒸发的方法,以高纯度的Al为靶材,硅片为衬底,制备了不同厚度的Al反射膜,并测量了在可见光范围内反射率曲线,分析了薄膜的致密性和电导率.实验结果表明,当Al层很薄时,膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,膜的导电性不好;如果沉积较厚(1 μm以上)则容易形成"铝丘",即出现多晶态的A1分布,一方面使A1膜表面粗糙,降低其镜面反射率,同样也将严重影响Al
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