【摘 要】
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本文对近10年来有关ArF激光(193 nm)光致抗蚀剂的研究开发情况进行了调研,对193 nm光致抗蚀剂组成物的各个组分进行了归纳综述.从本文可以看出,利用193 nm成像技术可以刻画线
【基金项目】
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2002-2005国家重点863项目
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本文对近10年来有关ArF激光(193 nm)光致抗蚀剂的研究开发情况进行了调研,对193 nm光致抗蚀剂组成物的各个组分进行了归纳综述.从本文可以看出,利用193 nm成像技术可以刻画线幅很细(＜0.13 μm)的图像,能适应信息技术的发展对于光致抗蚀剂高分辨率的要求.但若想将193 nm成像技术在实践中推广应用,还有诸多问题需待研究解决.
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