光产酸源相关论文
本文对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了说明.介绍了化学增幅作用中的关键组分-光产酸源和酸增殖剂的发展概况.并对重......
(续上期)在DUV抗蚀剂中除第1部分已介绍过的主体成膜高分子以外,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分,对......
<正> 本人已对UV产酸物质、UV产酸过程及UV固化作过综述。在UV产酸固化过程中,光产酸物质(光产酸源)事实上是作为一种酸引发剂,去......
