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脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究
脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenpenghust
【摘 要】
:
从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题,指出了影响附着力的主要因素,提出了增加附着力的几种途径。
【作 者】
:
杭凌侠
徐均琪
等
【机 构】
:
西安工业学院
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
离子镀
附着力
DLC薄膜
类金刚石薄膜
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从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题,指出了影响附着力的主要因素,提出了增加附着力的几种途径。
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