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降低双重图形光刻的成本
降低双重图形光刻的成本
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong501
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2008年11期
【关键词】
:
图形
光刻技术
工艺流程
套刻精度
两次曝光
关键尺寸
工艺成本
均匀性
粗糙度
线条
评估
刻蚀
节点
方法
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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