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采用脉冲激光沉积（PLD）技术，在Si（100）衬底上制备出高度c轴取向的ZnO薄膜。通过X射线衍射（XRD）谱，扫描电镜（SEM）和室温光致发光（PL）光谱的测量，研究了生长气氛压强的改变对薄膜结构和光致发光的影响。实验结果表明，当氧压从10Pa升高到100Pa时ZnO（002）衍射峰的半峰全宽（FWHM）增大。可以认为这是由于较高的氧压下，到达衬底表面的离子动能减小。这样部分离子没有足够的能量迁移到生长较快的（002）面，c轴取向变差，导致（002）衍射峰的强度降低，半峰全宽增大。随着氧压增大，紫外发