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对自行研制的直流高压等离子预处理装置作了介绍，该装置用于提高成膜工艺中聚对二甲苯与各种材质工件的粘附力，效果较好。
提高聚对二甲苯与工件粘附力的等离子预处理装置
【摘 要】
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对自行研制的直流高压等离子预处理装置作了介绍，该装置用于提高成膜工艺中聚对二甲苯与各种材质工件的粘附力，效果较好。
【机 构】
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江苏省化工研究所
【出 处】
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化学工业与工程技术
【发表日期】
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1998年1期
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