【摘 要】
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The present work mainly describes the technology for preparing indium-tin oxide (ITO) targets by cold isostatic pressing (CIP) and normal pressure sintering pro
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The present work mainly describes the technology for preparing indium-tin oxide (ITO) targets by cold isostatic pressing (CIP) and normal pressure sintering process.ITO powders were produced by chemical co-precipitation and shaped into an ITO green compact with a relative density of 60% by CIP under 300 MPa.Then,an ITO target with a relative density larger than 99.6% was obtained by sintering this green compact at 1550 ℃ for 8 h.The effects of forming pressure,sintering temperature and sintering time on the density of the target were investigated.Also,a discussion was made on the sintering atmosphere.
The present work mainly describes the technology for preparing indium-tin oxide (ITO) targets by cold isostatic pressing (CIP) and normal pressure sintering process. ITO powders were produced by chemical co-precipitation and shaped into an ITO green compact with a relative density of 60% by CIP under 300 MPa. Then, an ITO target with a relative density larger than 99.6% was obtained by sintering this green compact at 1550 ° C for 8 h. The effects of forming pressure, sintering temperature and sintering time on the density of the target were investigated. Also, a discussion was made on the sintering atmosphere.
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