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激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响，是一个复杂的问题。本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法。为了提高校准精度，应根据实际环境条件选择最合理的校准方法。
几种激光干涉仪精度校准方法的分析
【摘 要】
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激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响，是一个复杂的问题。本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法。为了提高校准精度，应根据实际环境条件选择最合理的校准方法。
【机 构】
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成都工具研究所有限公司
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2014年7期
【基金项目】
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国家重大科技专项（2012ZX04003071）
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