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Surface Acoustic Wave Humidity Sensors Based on （1120） ZnO Piezoelectric Films Sputtered on R-Sapph
【机 构】
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LabofModernAcoustics,SchoolofElectronicScienceandEngineering
【出 处】
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中国物理快报：英文版
【发表日期】
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2015年8期
【基金项目】
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Supported by the National Natural Science Foundation of China under Grant Nos 11174142, 11304160 and 11404147, the National Basic Research Program of China under Grant No 2012CB921504, the PAPD Projec
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