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LB技术制备大面积超薄PMMA抗蚀层的研究
LB技术制备大面积超薄PMMA抗蚀层的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mchz
【摘 要】
:
采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(100×8cm^2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4寸(100mm)铬掩膜
【作 者】
:
顾宁
于向东
【机 构】
:
东南大学分子与生物分子电子学国家教委开放实验室,华晶电子集团公司掩模制造中心
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
掩模
制造
超薄抗蚀层
半导体器件
电子束曝光
fabrication mask
ultrathin resist layer
Langmuir-Boldg
【基金项目】
:
国家八五攻关任务
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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(100×8cm^2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4寸(100mm)铬掩膜版。
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