micromachine相关论文
Bilogical nanomotors powered by energy-rich molecules have been evolved over millions of years-these bio-nanomachines su......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计．利用体硅微机械加工工艺和硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度......
设计了机械可调的一维光子晶体，它由沉浸在空气中的多层高折射率介质构成．通过数值计算验证了这种晶体的可调性．计算结果表明，均匀改变......
微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,具有广阔的应用前景.文中分析了微型机械的研究发展现状,并......
对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明:这些传统的传声器主要起声电转......
介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分......
提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂......
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论述了气体摆的机理，分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾......
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。更多还原......
在对新型微机械悬臂梁红外热探测器进行理论建模的基础上,研究了一种适合于此种红外热探测器的吸热层材料--碳纳米管.利用碳纳米管......
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜，使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力......
本文讨论了非硅微机械工艺和微绞链的研制工艺。我们研制的非硅表面微机械工艺采用两次或三次掩模电镀层，聚酰亚胺和光刻胶分别作为......
采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器,对该衰减器的性能进行了测试,并对影响其光学性能的因素作了分析.测试表明,......
论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术......
设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与......
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计，利用体硅微机械加工工艺和硅／玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计......
从微型机械的实际应用出发，对比传统机械的设计方法，应用有限元理论及其相关分析软件，对微型齿轮的齿根弯曲应力进行计算及分析，并对分......
介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作，它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变，从而产生温度差，由这个温度差感应了加......
本文提出一种采用闭环控制电路，控制微电机带动标尺的稿架方案。...
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜......
系统研究了聚合物微型机械模内组装成型熔体的剪切变稀效应对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律，并......
提出了一个永磁直流微电机的动态电模拟电路，据此可以对包含此类电机的电子稳速电路作动态数值分析，并可把该类电机作为一个元件，应用......
为确保ΣΔ（sigma-delta）微加速度计系统仿真的正确性,提出一种改进的敏感结构等效电学模型.在分析传统敏感结构等效电学模型局限性......
The advancement in the micro-/nanofabrication techniques has greatly facilitated the development of micromotors.A variet......
分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理，建立了该陀螺的数学模型，设计了其敏感结构，计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁......
本文论述了微电子机械系统(MEMS)的内涵,分析了MEMS近年来的研究进展,以微型传感器微型执行器为例,探讨其设计思想,主要加工技术及......
扼要介绍微电子机械系统的特征，在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。...
本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。......
介绍了微小机械的发展现状及国外在这方面的最新研究成果，对微小机械的研究方向提出了见解。......
介绍了近三五年内国际上微机械研究的新进展，阐述了新的微加工技术，趋向于探讨高纵横比的真三维立体结构；适用于聚合物和金属材料的制......
线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一，当前，传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场，对加速度计输出数字化......
在对静电激励硅微机械谐谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计，并给出了理论分析和实验结果，测试表明，其有量......
本文介绍了近几年日本微型机械技术和微型传感器技术的主要进步，详细介绍了“微型机械”项目的进展情况，及其所涉及的各种新技术。......
在“微型机械旋转运动动态参数测试仪”研制过程中采用微动光阑提取微电机动态信号，此微动光阑连续可调，直至闭合，其微调量比普通光阑......
叙述了作者研制成功的一微型镊子的工作原理、结构及测量控制系统。此微型可控镊子具有动作范围大、扶持力强，控制精度高等优点，是一......
