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沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
来源 :吉林大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:cxxxcs
【摘 要】
:
采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较
【作 者】
:
徐强
杨光敏
秦宏宇
白继鹏
【机 构】
:
长春工程学院勘查与测绘工程学院,长春师范大学物理学院,吉林大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
吉林大学学报(理学版)
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
基底温度
薄膜
摩擦学性能
碳化钒纳米薄膜
deposition temperature thin film tribological property VC
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采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
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