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采用磁控溅射技术沉积碳化钒（VC）纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射技术沉积碳化钒（VC）纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较
【机 构】
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长春工程学院勘查与测绘工程学院,长春师范大学物理学院,吉林大学材料科学与工程学院
【出 处】
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吉林大学学报(理学版)
【发表日期】
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2016年2期
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