【摘 要】
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本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了
【机 构】
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广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室,
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本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜实验。实验结果表明该系统能够实现光学镀膜在线实时监控,且非常适合国产镀膜设备的升级改造。
This paper introduces a wide spectrum integrated monitoring system based on fiber optic spectroscopy. The system monitors the optical film thickness synthetically by many methods, such as real-time wide spectrum, evaluation function, single-wavelength extremum and chromaticity analysis. Described in detail the working principle of the system, hardware and software systems, and conducted a series of coating experiments. The experimental results show that the system can realize real-time optical coating online monitoring, and is very suitable for the upgrading of domestic coating equipment.
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