【摘 要】
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本文介绍了真空电弧镀膜（VAD）环境下用法拉第杯分析等离子参数的实验系统。利用该系统，着重测量了气压、电流等参数对离子能量的影响，以及离子能量在固定位置的角分布。由测量结
【机 构】
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本文介绍了真空电弧镀膜（VAD）环境下用法拉第杯分析等离子参数的实验系统。利用该系统，着重测量了气压、电流等参数对离子能量的影响，以及离子能量在固定位置的角分布。由测量结果，讨论了VAD中的复合离子参数值（Ep），在100A、0．66Pa、偏压-100V下，典型的最大离子能量为75eV，到达工件Ep值为8286V／atom。
In this paper, an experimental system for analyzing plasma parameters by Faraday cup in vacuum arc coating (VAD) environment is introduced. With this system, the influence of parameters such as pressure and current on the energy of ions and the angular distribution of ion energy at fixed positions are emphatically studied. From the measurement results, the value of complex ion parameter (VE) in VAD is discussed. The typical maximum ion energy is 75eV at 100A, 0.66Pa and bias voltage of -100V, and the value of Ep reaches 8286V / atom.
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