激光检测摩擦力显微镜的研制

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纳米摩擦学已经成为摩擦学最活跃的研究领域之一。摩擦力显微镜(Friction force microscope,简称FFM)是最近几年在原子力显微镜(Atomic force microscope,简称AFM)基础上发展起来的一种具有很高分辨率的、用于研究物质表面微观摩擦性质的探测工具。由于以往在微观尺度上对摩擦现象的研究缺乏有效手段,因此,FFM自问世以来便受到广泛重视并在纳米摩擦学领域得到应用。目前纳米摩擦学研究领域的最新成果大都由AFM和FFM得到,如微摩擦力与表面轮廓斜率的对应关系、微摩擦力的周期性、微磨损的特性等。但AFM和FFM在纳米摩擦学领域的应用研究本身还有待于深入发展。虽然国内一些单位已开展对微观摩擦学的研究和扫描探针系列显微镜的研制工作,但尚未有用FFM从事纳米摩擦磨损研究的报道。清华大学摩擦学国家重点实验室与中国科学院化学研究所于1995年5月成功地研制出国内首台FFM。本文报道了我们在仪器研制方面所作的工作。 Nano-tribology has become one of the most active areas of tribology. The Friction force microscope (FFM) is a high-resolution probe developed in the recent years based on the Atomic force microscope (AFM), which is used to study the microscopic frictional properties of the material surface tool. Due to the lack of effective means to study the phenomenon of friction on a microscopic scale, FFM has been widely used in the field of nan tribology since its publication. At present, the latest achievements in the field of nano-tribology are mostly obtained by AFM and FFM, such as the corresponding relationship between the micro-friction and the slope of the surface profile, the periodicity of the micro-friction and the characteristics of the micro-abrasion. However, the application research of AFM and FFM in the field of nano-tribology has yet to be further developed. Although some domestic units have carried out the research on micro tribology and the development of a series of scanning probe microscopes, there has been no report on the research of nanoscale friction and wear using FFM. State Key Laboratory of Tribology and Tsinghua University Institute of Chemistry, Chinese Academy of Sciences in May 1995 successfully developed the first domestic FFM. This article reports on the work we have done in the development of instrumentation.
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