论文部分内容阅读
准ＬＩＧＡ技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，利用此技术，用普通光不曝光机可将光刻图形转移产厚的光刻胶上，获得较大的深宽比，从而解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。简要介绍了准ＬＩＧＡ技术的工艺过程特点和应用实例。
准LIGA技术在微传感器制造中的应用
【摘 要】
：
准ＬＩＧＡ技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，利用此技术，用普通光不曝光机可将光刻图形转移产厚的光刻胶上，获得较大的深宽比，从而解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。简要介绍了准ＬＩＧＡ技术的工艺过
【机 构】
：
湖北工学院机械系
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2000年3期
其他文献
加快生态文明体制改革,建设美好中国,生态文明建设是中国特色社会主义事业的重要内容,党中央、国务院高度重视生态文明建设。马克思主义哲学也为生态文明建设提供了坚实的理
在当今学校教育中,很多高中学校开设了“音乐鉴赏”课程,主要目的是让学生们更加真实地了解音乐,达到欣赏音乐的真正目的,这样就不会使音乐的欣赏停留在表面上、感官上,而是
目的应用流式细胞术检测血小板表面特异性抗原和血小板微粒(platelet microparticles,PMPs),并探讨血小板活化程度及PMPs对重型血友病A患者临床表现异质性的意义。方法应用特
Research on Mechanism of Overcurrent and Overvoltage When Contactless Tap Changer Switch Regulates V
Analyzes the mechanism of overvoltage when contactless tap changer switch which is applied in distributing transformer converted directly.When the device conver
习近平新时代教育发展战略重要论述是立足时代之基、回答时代之问的伟大科学的教育理论。习近平总书记以中国特色社会主义建设进入新时代为大背景,立足于新时代社会主要矛盾
<正> 在我国封建社会里,妇女的地位极其低下。在婚姻方面,女子更是毫无权利。既不能在婚前自由选择“如意郎君”,更不能在婚后提出离婚。在古代,离婚称为“休妻”或“出妻”,
现代翻译产业发展以信息技术为助力,逐步向翻译协同化、管理科学化、人才结构化方向发展,对翻译从业人员的职业技能提出了更高要求,这就要求翻译教学中更多关注翻译职业技能
Through applying PPE model based on RAGA to evaluate the benefit of rice water saving,the author turns multi-dimension data into low dimension space.So the opti
由于日前风电预测存在较大误差,采用日内滚动发电计划消纳风电波动性已成为业内的共识。然而,在我国现行的"三公"调度模式下,日内滚动发电计划须考虑电量完成进度的滚动协调