三层光刻胶工艺相关硕士博士期刊学术论文

准ＬＩＧＡ技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，利用此技术，用普通光不曝光机可将光刻图形转移产厚的光刻胶上，获得较大的深宽比，从而解决了......