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测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法。这些方法大概可以分为三类：电学方法、光学方法和物理接触方法。介绍了各种方法的物理基础，并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论。
半导体器件的温度测量
【摘 要】
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测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法。这些方法大概可以分为三类：电学方法、光学方法和物理接触方法。介绍了各种方法的物理基础，并且对每种方法的优势、劣势以及空间解
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2007年8期
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