【摘 要】
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介绍一种采用ＣＣＤ为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用ＣＣＤ分辨率高、像素均匀的特点，对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化，改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处理流程中的位置前移到光电转换环节，大大简化了后续电路，同时细分数也有大幅度提高，可以方便地实现数千倍的细分。在数据拼接时采用绝对栅距累加的方法，减小了光栅刻线质量对测量精度的影响。整个
【机 构】
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清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室
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介绍一种采用ＣＣＤ为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用ＣＣＤ分辨率高、像素均匀的特点，对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化，改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处理流程中的位置前移到光电转换环节，大大简化了后续电路，同时细分数也有大幅度提高，可以方便地实现数千倍的细分。在数据拼接时采用绝对栅距累加的方法，减小了光栅刻线质量对测量精度的影响。整个系统可由计算机通过并行端口进行控制
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