【摘 要】
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在高数值孔径（NA）投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（No.2009ZX02205）
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在高数值孔径（NA）投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500μm的偶次高次非球面进行了计算全息图（Computer-Generated Hologram,CGH）设计,设计出了满足高精度面形检测和刻蚀加工要求的CGH。然后,针对此设计方案,定量分析了CGH的成像畸变及畸变对像差分析的影响。分析结果表明,不同径向位置的成像倍率偏差（畸变）最大达到了2.7∶1,并且由于畸变的存在,低阶像差衍生出
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