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采用ＯＭＡ－４０００测量了ＳｉＨ射频辉光放电等离子体的光发射谱，研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系。结果表明：在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中，其等离子体状态分别发生了性质不同的转变，这种转变联系到射频功率耗散机制的变化。
SiH4射频辉光放电等离子体特性的光发射研究
【摘 要】
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采用ＯＭＡ－４０００测量了ＳｉＨ射频辉光放电等离子体的光发射谱，研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系。结果表明：在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中，其等离子体
【机 构】
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汕头大学非晶半导体实验室
【出 处】
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汕头大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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