【摘 要】
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LPE后残Ga去除,一般有物理的(刮除)、热水(擦除)和化学的(腐蚀去除)等方法,这里介绍一种国外专利方法,这是一种化学清洁剂,其配方为:
After LPE residual Ga removal, the
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LPE后残Ga去除,一般有物理的(刮除)、热水(擦除)和化学的(腐蚀去除)等方法,这里介绍一种国外专利方法,这是一种化学清洁剂,其配方为:
After LPE residual Ga removal, the general physical (scraping), hot water (erased) and chemical (corrosion removal) and other methods, here is a foreign patent method, which is a chemical cleaner, the formula is :
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