【摘 要】
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采用常规的ＩＣ工艺技术在硅片上制作了一种薄型探卡，并验证了它的功能。此卡可以用矩阵的形式提供极多的探针数（大于１０００个），此针永久地固定在透明的柔性薄片Ｘ—Ｙ平面内。有源测试电路置于
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采用常规的ＩＣ工艺技术在硅片上制作了一种薄型探卡，并验证了它的功能。此卡可以用矩阵的形式提供极多的探针数（大于１０００个），此针永久地固定在透明的柔性薄片Ｘ—Ｙ平面内。有源测试电路置于距做有探卡针圆片非常近的位置。这种小型探卡大大减少了某些寄生现象，尤其是测试感应。
A thin probe was made on silicon using conventional IC process technology and its function verified. This card can provide a very large number of probes (more than 1000) in the form of a matrix that is permanently fixed in the X-Y plane of a transparent flexible sheet. The active test circuit is placed very close to the probe card. This small snatcher significantly reduces some parasitics, especially test-induced.
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