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为了实现多参数综合测量,设计出一种小流量、压力、温度一体化传感器,该传感器主要由敏感元件和调理电路组成,信号输出采用0~5 V模拟输出。对传感器进行各项环境试验,试验结果表明:该传感器流量精度优于3%,压力精度优于0.2%,温度精度优于0.5%,流量热零点漂移小于0.2%FS/℃,压力热零点漂移小于0.1%FS/℃,满足使用要求。