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本文介绍一种在对现有微流控芯片加工方法进行综述的基础上，利用激光雕刻加工微流控芯片的方法。基于CO2激光雕刻机控制器原理及图像处理理论，开发研究针对BMP图像文件格式适用于激光雕刻的软件，通过图形处理生成加工路径文件后．经过再处理得到插补数据，利用半步偏差一几何最优法插补程序实现对X，Y轴步进电机和激光电源的控制，从而实现雕刻加工，将激光雕刻加工出的盖片和基片进行键合，从而制作出微流控芯片。