【摘 要】
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利阿太磁控溅射法以不同条件在重掺硼硅片（p^＋-Si）上制备Ti薄膜,经过一定条件下的热氧化转化为TiO2薄膜,从而形成TiO2/p^＋ -Si异质结。研究表明：要使TiO2/p^＋ -Si异质结产生显著的
【基金项目】
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教育部博士点基金（007033501）, 浙江省自然科学基金杰出青年团队项目（R4090055）, 国家“973”计划（2007CB13403）资助项目
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利阿太磁控溅射法以不同条件在重掺硼硅片（p^＋-Si）上制备Ti薄膜,经过一定条件下的热氧化转化为TiO2薄膜,从而形成TiO2/p^＋ -Si异质结。研究表明：要使TiO2/p^＋ -Si异质结产生显著的电致发光,其中的TiO2薄膜必须呈现单一的锐钛矿相,这就要求在较低的功率下溅射获得晶粒尺寸较小的Ti薄膜。此外,TiO2的薄膜厚度需要控制在合理的范围。文中对上述结果的物理机制进行了探讨。
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