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氢化非晶硅薄膜的电场诱导锂离子注入及其光伏特性
氢化非晶硅薄膜的电场诱导锂离子注入及其光伏特性
来源 :应用化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ccmjacky20
【摘 要】
:
采用电化学方法,在电场诱导下,对氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行锂离子注入,并用光电化学方法对不同条件下处理的a-Si:H薄膜的光伏性质和注入机理进行了研究。结果表明,处理电位小于-0.60V时,锂离子注入明
【作 者】
:
王宝辉
王德军
李铁津
耿新华
刘世国
孙云
孙钟林
【机 构】
:
吉林大学化学系,南开大学光电子研究所
【出 处】
:
应用化学
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
非晶硅
薄膜
锂
离子注入
光伏响应
电场诱导
hydrogenated amorphous silicon film
Li ̄+ ion implantati
【基金项目】
:
国家科委“八五”攻关资助课题
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采用电化学方法,在电场诱导下,对氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行锂离子注入,并用光电化学方法对不同条件下处理的a-Si:H薄膜的光伏性质和注入机理进行了研究。结果表明,处理电位小于-0.60V时,锂离子注入明显,经过注入的薄膜光伏响应提高60%左右。
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