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采用微波等离子体化学气相沉积法，Ｎ２／ＣＨ４作反应气体，在Ｓｉ（１００）基体上沉积β－ＣＮ化合物。使用Ｘ射线光电子能谱研究了基体温度对碳氮薄膜的成分和结构的影响，结果表明：随着温度的提高，Ｎ／Ｃ原子比迅速提高，ａ－和β－Ｃ３Ｎ４在薄膜中的比例随之提高。
基体温度对碳氮薄膜成分和结构的影响
【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积法，Ｎ２／ＣＨ４作反应气体，在Ｓｉ（１００）基体上沉积β－ＣＮ化合物。使用Ｘ射线光电子能谱研究了基体温度对碳氮薄膜的成分和结构的影响，结果表明：随着温度的提高，Ｎ／Ｃ原子比迅速提高，ａ－和
【出 处】
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北京科技大学学报
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金!19674009
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