大面积金刚石膜相关论文
应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中......
ＥＡＣＶＤ法（电子增强热丝法）是制备大面积金刚石薄膜的最有前途的方法之一。该文以自行设计和建立的可制备直径１００ｍｍ以上的大面积金刚石膜之ＥＡＣＶＤ装置为......
该文分析了低压气相生长金刚石膜现有设备和工艺的特点,确定热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,设备简单,成本低廉,膜层质量好,扩大生长......
建立了直流电弧等离子体喷射ＣＶＤ大面积金刚石沉积数学模型．对衬底上方等离子 体中的化学环境进行了模拟计算，并与在相同条件下对等离子......
应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中......
平整均匀的大面积金刚石膜是其在电子领域工业化应用的前提.采用微波等离子体化学气相沉积装置,分别用氢气、氮气加空气、氧气对大......
针对大面积金刚石膜衬底温度测量要求精度高、稳定性好的特点,分析了大面积金刚石膜衬底温度多支路测量数据融合的必要性,采用不同......
化学气相沉积（CVD）金刚石膜同时具有高硬度，最低的热膨胀系数，极佳的化学稳定性，高耐磨性，极高的热导率，宽禁带以及从远红外区到紫外区良......
通过对实验室自主研发的10 k W新型微波等离子体装置基片台的改进,获得了更高的基片温度,更长的保温时间以及更均匀的基片温度。用......
